高純氣體系統由專用氣體設備（特氣柜、VMB等）、氣體偵測傳感系統、自控及軟件系統、氣體管閥件等組成；系統的前端連接高純氣體供氣裝置，系統的終端連接客戶自購的工藝生產設備。

特氣柜設備功能設計上——讓人心安

特氣柜能將高純氣體通過特氣管道安全穩定的傳輸至使用終端設備，同時保證高純氣體不會因吸附氣體和水分、脫放氣等原因受到污染，保證氣體純度，使氣體滿足生產工藝的純度要求。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）以PLC為控制主體，配合觸摸屏進行系統顯示和設定可實現自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）等基本功能，報警監測功能齊全，還可根據不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設計，可以滿足不同行業需求，保證工廠正常生產和員工人身安全。?

特氣柜SEMI S2認證——讓人心安

SEMI S2 ——半導體生產裝置的環境、健康、安全（Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment）。

SEMI S2是針對半導體制程設備供貨商所規范的基本健康和安全要求安全標準。符合SEMI S2 不僅符合了國際相關規定，也是半導體產業的保險公司所要求的必要條件之一。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）通過SIME S2認證，質量和品質都是值得信賴的，能在保證氣體純度的同時，將易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性特種氣體安全穩定的輸送到制程生產中，提高產品良率和保障生產安全。

綜上，在高純氣體工藝中超高純電子特氣設備特氣柜無論是在功能設計上，還是使用標準上，都是值得信賴的。最后，感謝您的閱讀！