特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。沃飛科技提供太陽能光伏工廠所使用的高純度氣體(O2/Ar/N/H2/He等)、特氣(SiH4/GeH4/PH3/AsH3/SbH3/B2H6/BF3/NF3/PF3/PF5/CF5/CF4/C2H6/C3F8等)綜合供氣系統;排氣處理、監視系統的綜合管理系統;建立以安全為第一的特氣管理輸送系統。從設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務

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