近年來，伴隨著智能移動設備、自動駕駛汽車、5G通信、環保新能源等行業迎來強勁的市場需求，我國半導體集成電路芯片、液晶面板、光伏等行業也開啟了迅猛發展之路。與之相對應的是，作為這些行業制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料的電子特氣，其用量也在不斷增長。

由于實驗需要，實驗室經常需要采用易燃易爆有毒氣體等特種氣體。目前，實驗室普遍采用集中供氣，氣體需要經過管路輸送到使用終端。在這過程中，細節的重要性體現得淋漓盡致?？梢哉f，特氣系統的細節一旦出現問題，都可能導致氣體不純，生產出現問題，甚至引發事故。為了防止易燃易爆有毒氣體泄露，需要采用更專業、安全的特氣管道系統。

大“氣”晚來遲，大“勢”正興起。作為專業從事氣體應用系統工程的中堅力量，沃飛科技打造了安全可靠的電子特氣管道系統，將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩定地輸送到工藝設備，確保SiH4、NF3、C2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高（超過9.99%）的一些具有高危險性的特氣儲存、輸送與分配。

沃飛科技深知電子特氣管道系統安裝的重要性，憑借著多年來精銳的技術力量和實踐經驗，為芯片半導體、微電子企業、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業提供從供氣系統排氣處理、監視系統的綜合管理系統，建立以安全為第一的特氣管理輸送系統。安全優質的工藝管道安裝質量，是企業生存的關鍵，也是日后“安全生產”的保證。因此，沃飛科技對全過程進行控制，根據氣體工藝要求進行各項測試，提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務等整體解決方案。

特氣管道系統由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警等功能，并可擴展地震監控報警；單臺設備可以獨成系統獨立運轉，也可將多合設備通過PLC或TGO連接組成大系統，在監控中心統一監控管理，其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接，保證各生產工藝的電子特氣的純度和安全穩定供應，從根本上保證了電子器件的準確性。在施工結束后，沃飛科技還會進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。

十四五規劃以“科技自主自強”為戰略支撐，將進一步加大對科技前沿領域集成電路全產業鏈的攻關力度。伴隨著電子行業一路高歌，沃飛科技將利用自身豐富的研發設計能力，貼近客戶應用并不斷創新，全面覆蓋先進工藝設備端以及配套產品服務，通過提升技術突破和產能擴張的節奏，搶抓市場機遇，全力支持國內電子特氣行業加快發展，早日實現集成電路制造廠電子特氣綜合供應。