特氣系統是用于保證特種氣體安全使用的系統，大致由特氣設備、特種氣體管道和使用終端三部分組成，其中，特氣柜是特氣系統的核心設備，關系著穩定輸送氣體、保證特種氣體的使用安全和人員安全等功能。

特種氣體的氣體性質可以滿足行業的工藝需求，被廣泛應用于半導體、電子、液晶、光伏和太陽能電池等行業領域，但同時，特種氣體大多都是危險性氣體，如SiH4、NF3等。所以保證特種氣體安全使用，是特氣系統存在的意義，那特氣柜在這里面起到什么作用呢？

沃飛WOFLY特氣柜（GC）是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性特種氣體供應而設計的特氣設備，按類別可分為：全自動、半自動和手動操作。沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）以PLC為控制主體，配合觸摸屏進行系統顯示和設定，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）擁有SIME 2認證，在產品品質和功能都是可以信賴和放心的，還可根據不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設計，可以滿足客戶的行業需求。

綜上，特氣系統工程是一項比較重要又危險的工程，特氣柜是關系其中大部分功能的核心設備，沒有特氣柜的特氣系統工程是不完整的。感謝您的閱讀，更多特氣系統詳情，請關注我們！