隨著太陽能電池、半導體、微電子等行業的日新月異，其行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中產生的尾氣廢氣也在不斷增加，特氣系統中尾氣廢氣處理問題也慢慢成為一個不容忽視的問題，對其配套項目也提出了更高要求。

特種氣體尾氣現狀

尾氣作為特氣系統的衍生物，是不可避免的存在。在過去，很多高校實驗室由于用氣量不大，建設單位的業主沒有充分意識到尾氣的排放問題，但隨著更多半導體工廠涌現，生產用特氣尾氣的排放越來越多，引起了重視。那么怎么排放，如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。今天由深圳沃飛科技有限公司的工作人員為大家介紹一下。

特氣系統尾氣排放處理裝置的處理方法

依據廢氣處理的特性，在處理可分為四種處理方式：

1.水洗式（處理腐蝕性氣體）

2.氧化式（處理燃燒性；毒性氣體）

3.吸附式（依照吸附材種類處理對應之廢氣）

4.等離子燃燒式（各類型廢氣皆可處理）

各類型之處理皆有其優缺點及其適用范圍，處理.方式水洗時，設備便宜處理方式簡單，僅能處理水溶性氣體；電熱水洗式應用范圍較水洗時，運轉成本高；干式處理效率佳，不適用于容易堵塞或氣體流動。

特氣系統尾氣排放處理裝置的選擇須知

尾氣對環境或人體皆具有一定的危害性必須防止其直接排放大氣中。所以，一般半導體廠都已加裝大型中央廢氣處理系統，但此系統僅以水洗滌廢氣，故其應用范圍僅限于處理水溶性氣體，無法適應日新月異且分工細微的半導體工藝廢氣。

因此必須依據各工藝所衍生出的氣體特性種類，選擇搭配相對應的廢氣處理設備才能有效解決廢氣問題。

由于工作區域多半離中央廢氣處理系統遠，常因氣體特性導致管路中結晶或粉塵堆積造成管路堵塞后導致氣體泄漏，嚴重者甚至引起爆炸，無法確保現場工作人員之工作安全。因此在工作區域，尾氣處理裝置應靠近GR、GC等特種氣體設備布置?；蚺渲眠m合工藝氣體特性的小型廢氣處理設備(Local Scrubber)，以減少在工作區域滯留的廢氣確保人員安全。

以上，就是關于特氣系統中尾氣處理裝置處理尾氣的方法和要注意的地方，希望對您有用，感謝您的閱讀！