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VMP特氣閥門盤(笑氣閥門盤)

產品分類:VMP閥門盤


產品說明:特氣分配面板就是具有多個分支出口且每個分支出口上都設有閥門的能將主管道中的液體或氣體分流到各分支出口的管路構件。目前的管路分流器,其分流管與各分路球閥都是利用螺口連接的。

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產品詳情

結構特點:

· 專為特氣關鍵制程工藝設計

· 面板式整體結構便于安裝

· 主體采用316L不銹鋼材質,更適合于半導體制程特氣使用

· 金屬膜片減壓結構

· 硬密封結構,避免材質老化污染

· 采用膜片閥控制,流道簡潔,操作可靠,使用壽命長

· 閥組采用焊接與VCR結構連接,大幅避免泄漏。

· 可選用報警信號壓力表結構,供氣欠壓提供報警信號

· 特氣系列減壓器

· 配安全閥

· 進口減壓閥及管路經耐壓測試和泄漏測試

· 2”不銹鋼壓力表,讀數清晰

· 所有膜片閥旋鈕帶“開啟/關閉”指示窗