發布時間:2021-03-31
在半導體、集成電路等微電子工業中,電子特氣扮演著至關重要的角色,電子特氣貫穿半導體各步工藝制程,直接影響集成電路的好壞、生產率和良品率。特氣若不合格輕則導致產品嚴重缺陷,重則導致整條生產線被污染乃至全面癱瘓,是名副其實的電子工業“血液”。 但特種氣體大都伴隨著有毒、易燃易爆、高腐蝕性、高氧化性等性質,如H2Se、SIH4、CL2、NF3等,正確的設計和合理規范的選材施工才能保證安全。那么,如何才能安全、穩定、可靠地貯存和輸送特種氣體呢?基于此,有膽識、有實力的企業開始布局市場,以技術創新和豐富實踐經驗破解特氣系統工程難題。 作為專業從事氣體系統工程設計安裝、技術服務咨詢和配套產品生產銷售為一體的國家高新技術企業,沃飛科技目前已組建起專業的各類設計、研發、工程及生產施工團隊,擁有國家建筑機電安裝工程專業承包資質、GC2壓力管道設計安裝資質,建筑施工安全生產許可證等專業資質,具備豐富的氣體管道系統設計安裝經驗,已有長期的技術積淀和客戶積累,實力強勁,在業內擁有良好的口碑?! @著半導體行業特氣供應需求,沃飛科技基于“安全”的設計理念,遵循特氣系統工程的設計安裝、操作和維護等相應的嚴苛標準操作規程,將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制,通過管道、無二次污染、穩定地輸送到工藝設備的用氣點,很大程度上保障了氣體的純度、使用安全和穩定供氣?! 〈送?,尾氣作為特氣系統的衍生物,是不可避免的存在。隨著半導體行業一路高歌,生產用特氣尾氣的排放越來越多,逐漸引起了重視。因而,沃飛科技嚴格依據各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對應的廢氣處理設備,方才有效解決廢氣問題,有限減少了在工作區域滯留的廢氣,確保人員安全?! ≡诎雽w行業,沃飛科技特氣供氣系統有效地保護了電子特氣純度、避免外界雜質污染的同時,保證氣體的使用安全、壓力穩定和使用設備的精準供氣,為半導體行業企業提供安全、高效、節能、舒適的實驗環境。 隨著芯片國產化率的提高,高品質關鍵電子特氣國產化是大勢所趨,這給電子特氣系統工程的需求帶來了持續、強勁的拉動,沃飛科技有望迎來加速成長的階段。
未來,沃飛科技將繼續秉承“技術為先、品質優良、服務一流、用戶至上”的企業經營理念,不斷創新科技,用更成熟專業的電子特氣系統與服務,保證半導體制造的穩定性和良率,讓半導體的“血液”流淌在“中國芯”。
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